九峰山實(shí)驗(yàn)室集聚了一批來(lái)自全球的優(yōu)秀人才。

九峰山實(shí)驗(yàn)室主任丁琪超。 長(zhǎng)江日?qǐng)?bào)記者胡贊威 攝

□ 長(zhǎng)江日?qǐng)?bào)記者李琴

全球首片8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓下線，將盡快實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)商用；破解太赫茲器件頻率瓶頸，產(chǎn)品性能達(dá)國(guó)際前沿水平……一手牽科研，一手連產(chǎn)業(yè)，正式運(yùn)營(yíng)一年以來(lái)，九峰山實(shí)驗(yàn)室接連迎來(lái)關(guān)鍵技術(shù)新突破。

今年3月20日，習(xí)近平總書記主持召開新時(shí)代推動(dòng)中部地區(qū)崛起座談會(huì)時(shí)強(qiáng)調(diào)，要以科技創(chuàng)新引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新，積極培育和發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力。

“希望通過(guò)九峰山實(shí)驗(yàn)室的平臺(tái)，搭建從技術(shù)開發(fā)到成果轉(zhuǎn)化的橋梁?！?月3日，九峰山實(shí)驗(yàn)室主任丁琪超在接受長(zhǎng)江日?qǐng)?bào)《在場(chǎng)》專欄專訪時(shí)表示，加快關(guān)鍵技術(shù)突破，促進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)化，帶動(dòng)化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上企業(yè)成長(zhǎng)，共同點(diǎn)燃創(chuàng)新的“火苗”。

■ 推出全球首款8寸硅光薄膜鈮酸鋰晶圓

一個(gè)多月前，全球首片8寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓在九峰山實(shí)驗(yàn)室下線。此項(xiàng)成果使用8寸SOI硅光晶圓鍵合8寸鈮酸鋰晶圓，單片集成光電收發(fā)功能，為目前硅基化合物光電集成最先進(jìn)技術(shù)。

一片8寸硅光晶圓和一片非常薄的8寸鈮酸鋰晶圓進(jìn)行鍵合，必須保證在晶圓上微米尺寸單位面積內(nèi)的膜層高度一致，不會(huì)產(chǎn)生氣泡和翹曲，控制難度非常高。丁琪超介紹，鈮酸鋰材料性能出色，但其脆性大，大尺寸鈮酸鋰晶圓的制備與加工工藝一直是業(yè)界的難題，8寸硅光薄膜鈮酸鋰晶圓的成功研制，在全球范圍內(nèi)都是首次。

它標(biāo)志著一種新型技術(shù)的出現(xiàn)。在丁琪超看來(lái)，硅和鈮酸鋰兩種材料的結(jié)合，意味著可以實(shí)現(xiàn)超低損耗、超高帶寬的高端光芯片規(guī)模制造，助力人工智能、算力以及大規(guī)模數(shù)據(jù)中心進(jìn)一步的升級(jí)換代。

他表示，九峰山實(shí)驗(yàn)室不斷創(chuàng)新突破的背后，要得益于湖北省和武漢市以及東湖高新區(qū)政府的堅(jiān)定支持和投入，目前實(shí)驗(yàn)室已構(gòu)建了全球最先進(jìn)的化合物半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)基礎(chǔ)設(shè)施，擁有4英寸、6英寸和8英寸工藝線。人才隊(duì)伍則是另一關(guān)鍵因素，過(guò)去兩年，實(shí)驗(yàn)室從海外引進(jìn)人才近70位，目前近400名全職員工中，科研技術(shù)人員占九成。

“有了先進(jìn)的基礎(chǔ)設(shè)施和優(yōu)秀的人才，才能高效地創(chuàng)造先進(jìn)的新質(zhì)生產(chǎn)力。”丁琪超說(shuō)。

■ 擁有70多家產(chǎn)業(yè)鏈上的合作伙伴

近年來(lái)，化合物半導(dǎo)體以其優(yōu)越的性能，成為光電子、無(wú)線通信和電力電子等產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展和轉(zhuǎn)型升級(jí)的核心材料，被視作我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)未來(lái)可以實(shí)現(xiàn)領(lǐng)先的方向之一，成為各大省市爭(zhēng)奪的熱門新賽道。

“雖然化合物半導(dǎo)體的體量相對(duì)較小，但增長(zhǎng)速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于硅基半導(dǎo)體?！痹诙＄鞒磥?lái)，化合物半導(dǎo)體技術(shù)的迭代升級(jí)，需要全產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同發(fā)展，“全鏈條一起往前推進(jìn)，才能一步步踏上新臺(tái)階?！?/p>

作為湖北省十大實(shí)驗(yàn)室之一，2021年掛牌的九峰山實(shí)驗(yàn)室聚焦化合物半導(dǎo)體的研發(fā)與創(chuàng)新，致力于打造一個(gè)公共、開放、中立、共享的科研平臺(tái)。如今，在這個(gè)年輕的新型研發(fā)機(jī)構(gòu)內(nèi)，有上百個(gè)項(xiàng)目在同時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)，其中既有聯(lián)合研發(fā)項(xiàng)目，也有實(shí)驗(yàn)室基于發(fā)展愿景必須攻克的關(guān)鍵核心技術(shù)項(xiàng)目。

“不僅支撐芯片技術(shù)的研發(fā)，還助力產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)迭代成熟?！倍＄鞒榻B，目前九峰山實(shí)驗(yàn)室擁有70多家產(chǎn)業(yè)鏈上的合作伙伴，“他們可利用實(shí)驗(yàn)室的科研平臺(tái)來(lái)驗(yàn)證材料、催熟設(shè)備、研發(fā)軟件等，不斷進(jìn)行優(yōu)化迭代，最終實(shí)現(xiàn)更大規(guī)模的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用?！?/p>

不久前，九峰山實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合華工科技推動(dòng)協(xié)同創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)高端裝備國(guó)產(chǎn)化的最新成果——全國(guó)產(chǎn)化半導(dǎo)體晶圓激光切割機(jī)完成中試發(fā)往首家客戶，未來(lái)有望成為企業(yè)新的增長(zhǎng)點(diǎn)?！巴ㄟ^(guò)產(chǎn)業(yè)鏈的創(chuàng)新聯(lián)合，實(shí)現(xiàn)了科技成果的快速轉(zhuǎn)化。”丁琪超說(shuō)。

■ 打造全球化合物半導(dǎo)體標(biāo)桿性展會(huì)

4月8日至11日，2024九峰山論壇暨中國(guó)國(guó)際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)將再次在武漢光谷舉行，這也是國(guó)內(nèi)化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域規(guī)模最大、規(guī)格最高的標(biāo)桿性展會(huì)。

本屆九峰山論壇采取“1主+8專+多場(chǎng)行業(yè)專題會(huì)+多場(chǎng)展邊會(huì)”模式，將由10多位國(guó)內(nèi)外院士領(lǐng)銜出席，共計(jì)150余位嘉賓分享行業(yè)報(bào)告，全面覆蓋化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展前沿?zé)狳c(diǎn)。

“科研界、產(chǎn)業(yè)界一起探討化合物半導(dǎo)體的發(fā)展方向，共同點(diǎn)亮化合物半導(dǎo)體創(chuàng)新‘燈塔’?！睋?jù)丁琪超介紹，本屆九峰山論壇在首屆的基礎(chǔ)上增設(shè)了展會(huì)環(huán)節(jié)，國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈上下游代表企業(yè)齊聚一堂，同時(shí)來(lái)自歐美、日本等10多個(gè)國(guó)家的15家國(guó)際企業(yè)應(yīng)邀參展。眾多國(guó)際龍頭企業(yè)齊聚中國(guó)展示最新技術(shù)與產(chǎn)品，在全球化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)也是首次。

其中，華工科技將攜化合物半導(dǎo)體激光+量測(cè)先進(jìn)裝備解決方案、最新高速率光模塊產(chǎn)品亮相展會(huì)，并現(xiàn)場(chǎng)發(fā)布兩款針對(duì)碳化硅檢測(cè)的量測(cè)新品。

“全產(chǎn)業(yè)鏈攜手合作，集中展示各鏈條關(guān)鍵環(huán)節(jié)的新技術(shù)、新產(chǎn)品、新服務(wù)，推動(dòng)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈優(yōu)化升級(jí)。”丁琪超相信九峰山論壇將持續(xù)開展，“50屆、100屆，成為定期在光谷舉行的一個(gè)全球性化合物半導(dǎo)體盛會(huì)。”